Ny gazy ultra-high purity (UHP) no ain'ny indostrian'ny semiconductor. Satria ny fangatahana sy ny fanelingelenana tsy mbola nisy hatrizay tamin'ny rojo famatsiana eran-tany dia mampiakatra ny vidin'ny entona fanerena avo lenta, ny famolavolana semiconductor vaovao sy ny fomba fanamboarana dia mampitombo ny haavon'ny fifehezana ny loto ilaina. Ho an'ny mpanamboatra semiconductor, ny fahafahana miantoka ny fahadiovan'ny entona UHP dia zava-dehibe kokoa noho ny hatramin'izay.

Ny entona Ultra High Purity (UHP) dia tena mitsikera tanteraka amin'ny famokarana semiconductor maoderina

Ny iray amin'ireo fampiharana lehibe amin'ny entona UHP dia ny tsy fahampian-tsakafo: ny entona UHP dia ampiasaina mba hanomezana atmosfera fiarovana manodidina ny singa semiconductor, ka miaro azy ireo amin'ny voka-dratsin'ny hamandoana, oksizenina ary ireo loto hafa ao amin'ny atmosfera. Na izany aza, ny inertization dia iray amin'ireo asa maro samihafa ataon'ny gaza ao amin'ny indostrian'ny semiconductor. Avy amin'ny entona plasma voalohany ka hatramin'ny entona mihetsiketsika ampiasaina amin'ny etching sy annealing, ny entona fanerena avo lenta dia ampiasaina amin'ny tanjona maro samihafa ary tena ilaina manerana ny rojo famatsiana semiconductor.

Ny sasany amin'ireo gazy "fototra" ao amin'ny indostrian'ny semiconductor dia misyazota(ampiasaina ho fanadiovana ankapobeny sy entona inert),argon(ampiasaina ho entona plasma voalohany amin'ny etching sy deposition reactions),hélium(ampiasaina ho toy ny entona inert manana toetra manokana famindrana hafanana) aryhydrogène(Mitana anjara toerana maro amin'ny fanalefahana, fanapotehana, epitaxy ary fanadiovana plasma).

Satria nivoatra sy niova ny teknolojia semiconductor, dia toy izany koa ny entona ampiasaina amin'ny dingan'ny famokarana. Amin'izao fotoana izao, ny orinasa mpamokatra semiconductor dia mampiasa gazy isan-karazany, avy amin'ny gazy ambony toy nykryptonSYnéonamin'ny karazana mihetsiketsika toy ny nitrogen trifluoride (NF 3) sy tungstène hexafluoride (WF 6).

Mitombo ny fitakiana ny fahadiovana

Hatramin'ny namoronana ny microchip ara-barotra voalohany, izao tontolo izao dia nanatri-maso ny fitomboan'ny fitaovana semiconductor mahagaga. Tao anatin'ny dimy taona lasa, ny iray amin'ireo fomba azo antoka indrindra hanatrarana ity karazana fampivoarana ity dia tamin'ny alàlan'ny "fampitomboana ny haben'ny habeny": fampihenana ny refy lehibe amin'ny maritrano chip efa misy mba hanindry transistor bebe kokoa amin'ny toerana iray. Ho fanampin'izany, ny fampivoarana ny maritrano chip vaovao sy ny fampiasana fitaovana faran'izay haingana dia niteraka fisondrotana amin'ny fahombiazan'ny fitaovana.

Amin'izao fotoana izao, ny refin'ny semiconductor manara-penitra dia kely dia kely izao ka tsy fomba azo ampiasaina hanatsarana ny fahombiazan'ny fitaovana intsony ny fampitomboana ny habe. Fa kosa, ny mpikaroka semiconductor dia mitady vahaolana amin'ny endrika fitaovana vaovao sy maritrano chip 3D.

Ny fanamboarana tsy misy sasatra am-polony taona maro dia midika fa ny fitaovana semiconductor ankehitriny dia mahery lavitra noho ny microchips taloha - saingy marefo kokoa izy ireo. Ny fahatongavan'ny teknolojia fanamboarana wafer 300mm dia nampitombo ny haavon'ny fifehezana ny fahalotoana ilaina amin'ny famokarana semiconductor. Na dia ny fandotoana kely indrindra amin'ny dingan'ny famokarana (indrindra fa ny gazy tsy fahita firy na inert) dia mety hitarika amin'ny tsy fahombiazan'ny fitaovana - noho izany dia zava-dehibe kokoa noho ny hatramin'izay ny fahadiovan'ny entona.

Ho an'ny orinasa mpanamboatra semiconductor mahazatra, ny entona madio indrindra dia efa ny fandaniana ara-pitaovana lehibe indrindra aorian'ny silisiôna. Ireo sarany ireo dia antenaina hiakatra ihany rehefa miakatra avo ny fangatahana semiconductor. Niteraka fanelingelenana fanampiny tamin'ny tsenan'ny entona voajanahary mahery vaika ny hetsika tany Eropa. Ukraine dia iray amin'ireo mpanondrana lehibe indrindra eran-tany amin'ny fahadiovana ambonynéonfamantarana; Ny fananiham-bohitra an'i Rosia dia midika fa voafetra ny famatsiana ny gazy tsy fahita firy. Izany indray no nitarika ny tsy fahampiana sy ny fiakaran'ny vidin'ny gazy ambony hafa toy nykryptonSYxénon.