Ny entona madio tsy misy toa azy (UHP) no ain'ny indostrian'ny semiconductor. Satria ny fangatahana tsy mbola nisy toy izany sy ny fanelingelenana ny rojo famatsiana manerantany dia mampiakatra ny vidin'ny entona misy tsindry avo lenta, ny famolavolana sy ny fomba famokarana semiconductor vaovao dia mampitombo ny haavon'ny fanaraha-maso ny fahalotoana ilaina. Ho an'ireo mpanamboatra semiconductor, ny fahafahana miantoka ny fahadiovan'ny entona UHP dia zava-dehibe kokoa noho ny hatramin'izay.

Tena ilaina tokoa ny entona Ultra High Purity (UHP) amin'ny fanamboarana semiconductor maoderina.

Ny iray amin'ireo fampiasana lehibe ny entona UHP dia ny inertization: Ny entona UHP dia ampiasaina hanomezana atmosfera miaro manodidina ny singa semiconductor, ka miaro azy ireo amin'ny voka-dratsin'ny hamandoana, oksizenina ary loto hafa ao amin'ny atmosfera. Na izany aza, ny inertization dia iray amin'ireo asa maro samihafa ataon'ny entona ao amin'ny indostrian'ny semiconductor. Manomboka amin'ny entona plasma voalohany ka hatramin'ny entona mihetsika ampiasaina amin'ny etching sy annealing, ny entona misy tsindry avo lenta dia ampiasaina amin'ny tanjona maro samihafa ary tena ilaina manerana ny rojo famatsiana semiconductor.

Ny sasany amin'ireo entona "fototra" ao amin'ny indostrian'ny semiconductor dia ahitanaazota(ampiasaina ho fanadiovana ankapobeny sy entona tsy mihetsika),argon(ampiasaina ho toy ny entona plasma voalohany amin'ny fihetsika fanesorana sy fametrahana),hélium(ampiasaina ho toy ny entona tsy mihetsika manana toetra manokana amin'ny famindrana hafanana) aryhydrogène(milalao anjara toerana maro amin'ny fanafanana, fametrahana, epitaxy ary fanadiovana plasma).

Rehefa nivoatra sy niova ny teknolojia semiconductor dia niova koa ny entona ampiasaina amin'ny fizotran'ny famokarana. Amin'izao fotoana izao, mampiasa entona isan-karazany ny orinasa mpamokatra semiconductor, manomboka amin'ny entona mendri-kaja toy nykriptonSYnéonamin'ny karazana mihetsika toy ny azota trifluoride (NF 3 ) sy ny tungstène hexafluoride (WF 6 ).

Mitombo ny fangatahana fahadiovana

Hatramin'ny namoronana ny microchip ara-barotra voalohany, dia nahita fitomboana mahagaga saika mivelatra teo amin'ny fahombiazan'ny fitaovana semiconductor izao tontolo izao. Nandritra ny dimy taona lasa, ny iray amin'ireo fomba azo antoka indrindra hahatratrarana ity karazana fanatsarana ny fahombiazana ity dia ny "fampihenana ny haben'ny": fampihenana ny refy fototra amin'ny maritrano puce efa misy mba hampidirana transistors bebe kokoa ao anaty toerana iray. Ho fanampin'izany, ny fampivoarana ny maritrano puce vaovao sy ny fampiasana fitaovana avo lenta dia niteraka fiakarana goavana teo amin'ny fahombiazan'ny fitaovana.

Amin'izao fotoana izao, kely dia kely ny refy manan-danja amin'ny semiconductors maoderina ka tsy fomba azo ampiharina intsony ny fampitomboana ny haben'ny fitaovana hanatsarana ny fahombiazan'ny fitaovana. Fa kosa, mitady vahaolana amin'ny endrika fitaovana vaovao sy maritrano puce 3D ireo mpikaroka momba ny semiconductor.

Ny fanavaozana tsy mety sasatra nandritra ny am-polony taona maro dia midika fa mahery lavitra noho ireo microchip taloha ireo fitaovana semiconductor ankehitriny — saingy marefo kokoa ihany koa izy ireo. Ny fisian'ny teknolojia fanamboarana wafer 300mm dia nampitombo ny haavon'ny fanaraha-maso ny loto ilaina amin'ny famokarana semiconductor. Na dia ny loto kely indrindra amin'ny fizotran'ny famokarana aza (indrindra fa ny entona tsy fahita firy na tsy miasa) dia mety hiteraka fahasimban'ny fitaovana mahatsiravina - noho izany dia zava-dehibe kokoa noho ny hatramin'izay ny fahadiovan'ny entona ankehitriny.

Ho an'ny orinasa fanamboarana semiconductor mahazatra, ny entona madio dia efa fandaniana lehibe indrindra aorian'ny silikônina mihitsy. Ireo fandaniana ireo dia antenaina hitombo rehefa miakatra avo kokoa ny fangatahana semiconductor. Ny zava-nitranga tany Eoropa dia niteraka fikorontanana fanampiny teo amin'ny tsena entona voajanahary misy tsindry avo lenta. I Okraina no iray amin'ireo mpanondrana entona madio lehibe indrindra eran-tany.néonfamantarana; Ny fanafihan'i Rosia dia midika fa voafetra ny famatsiana ny entona tsy fahita firy. Izany kosa dia nitarika ho amin'ny tsy fahampiana sy ny fiakaran'ny vidin'ny entona mendri-kaja hafa toy nykriptonSYxénon.