Epitaxial (fitomboana)Mifangaro gas

Tao amin'ny indostrian'ny semiconductor, ny entona nampiasaina mba hampitomboana ireo sosona iray na maromaro avy amin'ny alàlan'ny fanilihana simika simika amin'ny substrate voafantina tsara dia antsoina hoe entona epitaxial.

Ny entona epitaxial epitaxial mahazatra dia misy dichlorosilane, silicon tetrachloride arySilane. Ampiasaina ho an'ny fandroahana silim-pandroana ny silika epitaxial, ny fametahana sarimihetsika silicon nitride, ny fametahana sarimihetsika silfous ho an'ny sela solar sy ny sary hafa, sns

Fandroahana simika simika (CVD) entona mifangaro

Ny CVD dia fomba iray hametrahana singa sasantsasany sy ny sombin-tsolika amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra simika entona amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra simika amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra Miankina amin'ny karazana sarimihetsika noforonina, ny entona simika simika (CVD) dia tsy mitovy.

nanatrika nyEntona mifangaro

Ao amin'ny fanamboarana fitaovana semiconductor sy ny fizaran-tany mitambatra, ny loto sasany dia ampidirina ao anaty fitaovana semiconductor mba hanomezana ireo karazana fitarihana ilaina sy ny fanoherana ny mpanamboatra, sns.

Anisany ny arsine, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentakluoride,boron trifluoride, diborane, sns.

Matetika ny loharanom-pototry ny doping dia afangaro amin'ny entona mpitatitra (toa an'i Argon sy Nitrogen) ao amin'ny kabinetra loharano. Rehefa avy mifangaro, ny fikorianan-tsolika dia voatsindrona hatrany amin'ny lafaoro miparitaka ary manodidina ny wafer, ny dopants eo am-pototry ny onjam-bava, ary avy eo mihetsika amin'ny silika mba hiteraka metaly misy silicon.

EtchingMifangaro entona

Etsy ny ething dia tsy hamindra ny fanodinana (toy ny sarimihetsika metaly, snson ny sarimihetsika, sns.

Ny fomba etching dia misy ny simika simika sy ny simika simika maina. Ny lasantsy ampiasaina amin'ny simika simika maina dia antsoina hoe entona etching.

Ny entona etching dia mazàna fluorida gazy (faride), toy nyCarbon Tetraafluoride, Nitrogen Trifluoride, Trifluorhomane, hexAfluoroethane, perfluoropropane, sns.