Hidrôzenina klôroentona tsy misy loko ary fofona manitra. Ny vahaolana ao anatiny dia antsoina hoe asidra hydrochloric, fantatra ihany koa amin'ny hoe asidra hydrochloric. Ny hydrogène chloride dia mety levona anaty rano. Amin'ny 0°C, ny rano 1 dia afaka manafoana hydrogène chloride 500 eo ho eo.

Manana ireto toetra sy toetra manaraka ireto izy:

1. Fahadiovana avo lenta

Ny fahadiovan'ny kilasy elektronikahidrôzenina klôrodia avo dia avo, mazàna amin'ny ppm na ambany kokoa, mba hahazoana antoka fa tsy misy loto tafiditra ao anatin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor.

2. Tsy fihetsehana

Gaz tsy mihetsika ara-simika izy io izay tsy mihetsika amin'ny akora maro hafa, izay tena zava-dehibe mba hisorohana ny fandotoana ny fitaovana sy ny fitaovana semiconductor.

3. Fahamarinana avo lenta

Kilasy elektronikahidrôzenina klôroamin'ny ankapobeny dia manana simia milamina mba hahazoana antoka fa azo antoka ny fanodinana semiconductor.

Ao amin'ny fanodinana semiconductor, ny fampiharana lehibe ny klôro hidrôzenina kilasy elektronika dia ahitana:

1. Fanadiovana sy fanomanana ny velarana

Amin'ny maha-mpandio velarana mahomby azy, kilasy elektronikahidrôzenina klôroampiasaina hanesorana ny oksida sy ny loto amin'ny velaran'ny substrate mba hahazoana antoka ny kalitao sy ny fahadiovan'ny sosona na sarimihetsika epitaxial.

2. Fanampiana amin'ny fitomboana epitaxial

Ampiasaina ho toy ny akora fitsaboana ety ambonin'ny tany amin'ny dingana epitaxial, manampy amin'ny fanatsarana ny kalitaon'ny sosona epitaxial, manatsara ny fampifanarahana ny harato, ary mampihena ny fiforonan'ny lesoka amin'ny harato.

3. Fikarakarana mialoha ny substrate

Alohan'ny hanomanana ireo fitaovana semiconductor, kilasy elektronikahidrôzenina klôrodia azo ampiasaina hikarakarana ny velaran'ny substrate mba hamoronana fotony marin-toerana hanatsarana ny fifikirana eo amin'ny sosona epitaxial sy ny substrate.

4. Mpanampiny amin'ny fametrahana

Ao amin'ny dingan'ny fametrahana etona simika (CVD) na fametrahana etona ara-batana (PVD), ny klôro hidrôzenina kilasy elektronika dia azo ampiasaina ho toy ny fitaovana famindrana dingana entona mba handraisana anjara amin'ny fihetsiky ny fametrahana ny fitaovana semiconductor.

5. Mpandrindra famindrana entona

Amin'ny maha-mpamindra dingana entona azy, dia ampidirina ao amin'ny efitrano fihetsehana ireo akora mialoha ny entona hafa mba hanampiana amin'ny fanitsiana ny tahan'ny fametrahana sy ny fitoviana amin'ny akora.

Ireo toetra ireo no mahatonga ny kilasy elektronika hohidrôzenina klôroakora fanodinana manan-danja amin'ny teknolojia semiconductor, izay misy fiantraikany lehibe amin'ny fahombiazana sy ny fahatokisana ny fitaovana farany.

Ankoatra ny fampiasana azy amin'ny fanodinana semiconductor, ny klôro hidrôzenina kilasy elektronika dia afaka mampiasa karazana fampiasana isan-karazany amin'ny sehatra hafa, anisan'izany: Fanomanana fitaovana madio avo lenta, Sela solika, fitomboan'ny fitaovana Semiconductor, Litografia dingana etona, Famakafakana fitaovana, Fikarohana simika.

Amin'ny ankapobeny, ny kilasy elektronikahidrôzenina klôrodia entona madio sy azo ampiasaina amin'ny fomba maro samihafa izay manana fampiharana isan-karazany ivelan'ny famokarana semiconductor.