Ao amin'ny fizotry ny famokarana ny semiconductor Wafer dia manana fizakan-tena amin'ny famokarana producted, efa ho 50 isan-karazany no ilaina. Ny gazy dia mizarazara amin'ny gazy marobe aryGASES SHASS.

Ny fampiharana ny entona ao amin'ny indostrian'ny microelectronika sy ny semiconductor dia ny fampiasana ny entona dia manana anjara toerana lehibe amin'ny fizotran'ny semiconductor, indrindra ny fizotran'ny semiconductor be dia be amin'ny indostria isan-karazany. Avy amin'ny ULSI, TFT-LCD amin'ny indostria micro-elektromika (mems) ankehitriny, ny fizotran'ny semiconductor dia ampiasaina ho toy ny fizotry ny famokarana vokatra, ao anatin'izany ny otrikaretina maina, oxidation, ion implantation, ny fametahana film, sns.

Ohatra, fantatry ny olona maro fa vita amin'ny fasika ny sôkôlà, fa mijery ny fizotran'ny fanamboarana chip, ilaina ny fitaovana ilaina, toy ny sary, ny ranon-javatra, ny entona, ny entona manokana, sns dia ilaina. Ny fonosana famaranana miverina ihany koa dia mila substrate, mpanelanelana, fironana mitarika, fitaovana fatorana, sns. Ny entona manokana elektronika dia fitaovana faharoa lehibe indrindra amin'ny vidin'ny fanamboarana semiconductor Aross Waff, arahin'ireo saron-tava sy photosista.

Ny fahadiovan'ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fanatanterahana ny singa sy ny vokatra vokatra, ary ny fiarovana ny famatsiana entona dia mifandraika amin'ny fahasalaman'ny olona sy ny fiarovana ny asan'ny orinasa. Nahoana ny fahadiovan'ny entona no manana fiantraikany lehibe amin'ny andalana sy ny mpiasan'ny fizotrany? Tsy fanitarana izany, fa voafaritry ny toetra mampidi-doza amin'ny entona.

Fanasokajiana enta-tsotra amin'ny indostrian'ny semiconductor

Gasikara mahazatra

Ny entona tsotra dia antsoina koa entona be dia be: ny entona indostrialy miaraka amin'ny fitakiana fahadiovana ambany noho ny 5n ary famokarana sy varotra be dia be. Azo zaraina ho entona misaraka amin'ny rivotra sy ny entona sentetika araka ny fomba fiomanana samy hafa. Hydrogen (H2), Nitrogen (N2), Oxygen (O2), Argon (A2), sns .;

Gasikara manokana

Ny entona manokana dia manondro entona indostrialy izay ampiasaina amin'ny sehatra manokana ary misy fepetra takiana amin'ny fahadiovana, isan-karazany ary fananana. indrindraSih4, PH3, B2H6, A8H3,levitra, Cf4,Nh3, Bocl3, sih2cl2, sihcl3,Nh3, Bcl3, Sif4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… sy ny sisa.

Karazana entona spicial

Karazana entona manokana: corrossive, poizina, voromahery, mirehitra, manohana, manohana, inert, sns.
Ny gazy semiconductor mahazatra mahazatra dia voasokajy toy izao manaraka izao:
(i) Corrosive / poizina:levitra, Bf3, wf6, hbr, sih2cl2, nh3, ph3, cl2,Bcl3...
ii) Flammable: H2,CH4,Sih4, PH3, ASH3, SI2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) Corfustible: o2, cl2, n2o, nf3 ...
(iv) Inert: n2,Cf4, C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr, Izy ...

Amin'ny fizotran'ny semiconductor Chip manamboatra, 50 isan-karazany ny entona manokana (antsoina hoe gazy manokana) dia ampiasaina amin'ny oxidation, ny fanaparitahana, ny tsindrona, ny fakana an-jatony ary ny dingana hafa, ary ny dingana hafa dia mihoatra ny an-jatony. Ohatra, ny PH3 sy Ash3 dia ampiasaina ho toy ny loharano phosphorus sy arsenika ao amin'ny dingana Ion IMPLANTATION, CF4, CHF3, SF6 sy Halogen GASS CI2, BCI, NH3, N2 / N2

Avy amin'ireo lafin-javatra etsy ambony, azontsika fantarina fa maro ny gazy semiconductor dia manimba ny vatan'olombelona. Ho an'ny tena manokana, ny sasany amin'ireo entona, toa an'i Sih4, dia tsy miraharaha tena. Raha mbola mitoka-monina izy ireo dia hihetsika mahery setra amin'ny oksizenina eny amin'ny rivotra ary manomboka mandoro; ary ny ash3 dia tena poizina. Ny fihenan-tsasatra kely dia mety hiteraka fahavoazana amin'ny fiainan'ny olona, ​​ka ny fepetra takian'ny fiarovana ny rafitra fanaraha-maso ny fanaraha-maso ho an'ny fampiasana gazy manokana dia avo indrindra.

Ny semiconductor dia mitaky entona fahadiovana avo mba hanana "degre telo"

Fahadiovana entona

Ny votoatin'ny rivotra iainana ao anaty entona dia aseho ho isan-jaton'ny fahadiovan'ny entona, toy ny 99.999%. Amin'ny ankapobeny, ny fitakiana ny fahadiovana ho an'ny gazy elektronika manokana dia mahatratra 5n-6n, ary aseho koa ny taham-pahafaham-bary amin'ny atmosphere votoaty PPM (ampahany isaky ny tapitrisa), ary PPT (ampahany isaky ny tapitrisa). Ny sehatry ny semiconductor elektronika dia manana ny fepetra takian'ny fahadiovana sy ny fahamarinan'ny gazy manokana, ary ny fahadiovan'ny gazy elektronika manokana dia lehibe noho 6n.

Dry maina

Ny votoatin'ny rano mandeha amin'ny entona, na ny hatsiaka, matetika dia aseho amin'ny ando teboka, toy ny atmospheric dew point -70 ℃.

Fahadiovana

Ny isan'ireo sombin-javatra maloto ao anaty entona, singa misy ny haben'ny sombin-tsoratra ao amin'ny μm, dia aseho ao amin'ny sombiny / m3. Ho an'ny rivotra miforitra, matetika dia aseho ao amin'ny MG / M3 ny sisa tavela mafy, izay ahitana ny votoatin'ny solika.