Ao amin'ny dingan'ny famokarana wafer semiconductor miaraka amin'ny dingana famokarana somary mandroso, efa ho 50 karazana entona no ilaina. Ny entona dia amin'ny ankapobeny dia mizara ho entona betsaka sygasy manokana.

Fampiharana entona amin'ny indostrian'ny microelectronics sy semiconductor Ny fampiasana entona dia manana anjara toerana lehibe foana amin'ny fizotran'ny semiconductor, indrindra fa ny fizotran'ny semiconductor dia ampiasaina betsaka amin'ny indostria isan-karazany. Avy amin'ny ULSI, TFT-LCD mankany amin'ny indostrian'ny micro-electromechanical (MEMS) ankehitriny, ny fizotran'ny semiconductor dia ampiasaina ho toy ny fizotran'ny famokarana vokatra, anisan'izany ny etching maina, ny oxidation, ny implantation ion, ny fametrahana sarimihetsika manify, sns.

Ohatra, fantatry ny olona maro fa vita amin'ny fasika ny chips, fa raha jerena ny dingana manontolo amin'ny famokarana puce dia ilaina ny fitaovana bebe kokoa, toy ny photoresist, ny ranon-tsavony, ny fitaovana kendrena, ny gazy manokana, sns. Ny fonosana back-end dia mitaky substrates, interposers, frame firaka, fitaovana famatorana, sns amin'ny fitaovana isan-karazany. Ny gazy manokana elektronika no fitaovana faharoa lehibe indrindra amin'ny vidin'ny famokarana semiconductor taorian'ny wafers silisiôma, arahin'ny saron-tava sy ny photoresists.

Ny fahadiovan'ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fahombiazan'ny singa sy ny vokatra vokatra, ary ny fiarovana ny famatsiana entona dia mifandray amin'ny fahasalaman'ny mpiasa sy ny fiarovana ny fiasan'ny orinasa. Nahoana ny fahadiovan'ny entona no misy fiantraikany lehibe eo amin'ny tsipika sy ny mpiasa? Tsy fanitarana izany, fa voafaritra amin'ny toetra mampidi-doza amin'ny entona.

Fanasokajiana ny entona mahazatra amin'ny indostrian'ny semiconductor

Gasy tsotra

Ny entona mahazatra dia antsoina koa hoe entona be dia be: enti-milaza ny entona indostrialy manana fepetra fahadiovana ambany noho ny 5N ary be dia be ny famokarana sy ny varotra. Azo zaraina ho entona fisarahana rivotra sy entona synthetic araka ny fomba fanomanana samihafa. hidrôzenina (H2), azota (N2), oksizenina (O2), argon (A2), sns.;

Gasy manokana

Ny gazy manokana dia manondro ny entona indostrialy izay ampiasaina amin'ny sehatra manokana ary manana fepetra manokana momba ny fahadiovana, ny karazany ary ny fananana. indrindraSiH4, PH3, B2H6, A8H3,levitra, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… sy ny sisa.

Karazana entona Spicial

Karazana entona manokana: manimba, misy poizina, mora mirehitra, manohana ny fandoroana, inert, sns.
Ny gazy semiconductor mahazatra dia sokajiana toy izao manaraka izao:
(i) Mahakoropaka/misy poizina:levitraBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) mora mirehitra: H2,CH4、SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Mirehitra: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6CO2,Ne、Kr、 Izy…

Ao amin'ny dingan'ny famokarana chip semiconductor, manodidina ny 50 karazana gazy manokana (antsoina hoe gazy manokana) no ampiasaina amin'ny oxidation, diffusion, deposition, etching, tsindrona, photolithography ary dingana hafa, ary mihoatra ny an-jatony ny dingana manontolo. Ohatra, PH3 sy AsH3 dia ampiasaina ho phosphore sy arsenika loharano ao amin'ny ion implantation dingana, F-monina entona CF4, CHF3, SF6 sy halogen gazy CI2, BCI3, HBr dia matetika ampiasaina amin'ny etching dingana, SiH4, NH3, N2O in ny fizotry ny horonan-tsarimihetsika, F2/Kr/Ne, Kr/Ne amin'ny fizotry ny photolithography.

Avy amin'ireo lafin-javatra voalaza etsy ambony ireo dia azontsika takarina fa maro ny gazy semiconductor manimba ny vatan'olombelona. Indrindra indrindra, ny sasany amin'ireo gazy, toy ny SiH4, dia mandrehitra tena. Raha mbola mitete izy ireo, dia hanao fihetsika mahery vaika amin'ny oksizenina eny amin'ny rivotra izy ireo ary manomboka may; ary ny AsH3 dia tena misy poizina. Mety hiteraka fahasimbana amin'ny fiainan'ny olona ny fivoahana kely, noho izany dia avo indrindra ny fepetra takiana amin'ny fiarovana ny rafitra fanaraha-maso amin'ny fampiasana entona manokana.

Ny semiconductor dia mitaky gazy madio tsara mba hanana "degree telo"

Fahadiovana gasy

Ny votoatin'ny rivotra maloto ao amin'ny entona dia matetika aseho ho isan-jaton'ny fahadiovan'ny entona, toy ny 99,9999%. Amin'ny ankapobeny dia mahatratra 5N-6N ny fepetra takian'ny fahadiovana amin'ny gazy elektronika manokana, ary asehon'ny habetsahan'ny votoatin'ny atmosfera loto ppm (ampahany isaky ny tapitrisa), ppb (ampahany isaky ny miliara), ary ppt (ampahany isaky ny trillion). Ny sehatry ny semiconductor elektronika dia manana ny fepetra avo indrindra amin'ny fahadiovana sy ny kalitaon'ny entona manokana, ary ny fahadiovan'ny entona elektronika manokana dia lehibe noho ny 6N.

Fahamainana

Ny votoatin'ny ranon-drano ao amin'ny entona, na ny lena, dia matetika aseho amin'ny ando, toy ny mari-pana amin'ny rivotra -70 ℃.

Fahadiovana

Ny isan'ny poti-potaka mandoto ao amin'ny entona, potika misy habe µm, dia aseho amin'ny isan'ny potikely/M3. Ho an'ny rivotra mipoitra, matetika dia aseho amin'ny mg / m3 amin'ny sisa tavela tsy azo ihodivirana, izay ahitana ny votoatin'ny solika.