Ao amin'ny dingana famokarana orinasa mpamokatra "semiconductor wafer" izay manana dingana famokarana mandroso kokoa, dia ilaina ny karazana entona efa ho 50 samihafa. Amin'ny ankapobeny dia mizara ho entona betsaka syentona manokana.

Fampiasana entona amin'ny indostrian'ny mikroelektronika sy semiconductor Ny fampiasana entona dia nitana anjara toerana lehibe foana amin'ny fizotran'ny semiconductor, indrindra fa ny fizotran'ny semiconductor izay ampiasaina betsaka amin'ny indostria isan-karazany. Manomboka amin'ny ULSI, TFT-LCD ka hatramin'ny indostrian'ny mikroelektromekanika (MEMS) ankehitriny, ny fizotran'ny semiconductor dia ampiasaina ho toy ny fizotran'ny famokarana vokatra, anisan'izany ny fanesorana maina, ny oksidasiona, ny fametrahana ion, ny fametrahana sarimihetsika manify, sns.

Ohatra, maro ny olona mahalala fa fasika no nanaovana ireo poti-javatra, saingy raha jerena ny dingana manontolo amin'ny fanamboarana poti-javatra, dia ilaina ny fitaovana maro kokoa, toy ny "photoresist", ranoka fanosotra, fitaovana kendrena, entona manokana, sns. izay tena ilaina. Ny fonosana "backend" koa dia mitaky substrates, interposers, firaka, fitaovana fampiraisana, sns. avy amin'ny fitaovana isan-karazany. Ny entona elektronika manokana no fitaovana faharoa lehibe indrindra amin'ny vidin'ny famokarana semiconductor aorian'ny "silicon wafers", arahin'ny "saron-tava" sy "photoresists".

Ny fahadiovan'ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fahombiazan'ny singa sy ny vokatra azo, ary ny fiarovana ny famatsiana entona dia mifandray amin'ny fahasalaman'ny mpiasa sy ny fiarovana ny fiasan'ny orinasa. Nahoana ny fahadiovan'ny entona no misy fiantraikany lehibe amin'ny fizotran'ny asa sy ny mpiasa? Tsy fanitaran-dresaka izany, fa voafaritry ny toetra mampidi-doza ao amin'ny entona mihitsy.

Fanasokajiana ny entona mahazatra ao amin'ny indostrian'ny semiconductor

Gaz tsotra

Ny entona tsotra dia antsoina koa hoe entona betsaka: manondro ny entona indostrialy izay latsaky ny 5N ny fepetra takiana amin'ny fahadiovana ary betsaka ny famokarana sy fivarotana. Azo zaraina ho entona manasaraka ny rivotra sy ny entona sentetika araka ny fomba fanomanana samihafa. Hidrôzenina (H2), azota (N2), oksizenina (O2), argon (A2), sns.;

Gaz manokana

Ny entona manokana dia manondro ny entona indostrialy izay ampiasaina amin'ny sehatra manokana ary manana fepetra takiana manokana amin'ny fahadiovana, ny karazany ary ny toetrany. Indrindra indrindraSiH4, PH3, B2H6, A8H3,levitra, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… sy ny sisa.

Karazana entona manokana

Karazana entona manokana: manimba, misy poizina, mora mirehitra, manohana ny fandoroana, tsy mihetsika, sns.
Ireto avy ireo entona semiconductor ampiasaina matetika:
(i) Manimba/manimba:levitraBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, ary Cl2BCl3…
(ii) Mora mirehitra: H2、CH4、SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Mora mirehitra: O2,Cl2,N2O,NF3…
(iv) Tsy mihetsika: N2、CF4C2F6C4F8、SF6CO2,Ne、KrIzy…

Ao anatin'ny dingan'ny fanamboarana puce semiconductor, karazana entona manokana 50 eo ho eo (antsoina hoe entona manokana) no ampiasaina amin'ny oksidasiona, diffusion, deposition, etching, injection, photolithography ary dingana hafa, ary mihoatra ny an-jatony ny dingana rehetra. Ohatra, ny PH3 sy AsH3 dia ampiasaina ho loharanon'ny phosphore sy arsenic amin'ny dingan'ny fametrahana ion, ny entona mifototra amin'ny F CF4, CHF3, SF6 ary ny entona halogen CI2, BCI3, HBr dia matetika ampiasaina amin'ny dingan'ny etching, SiH4, NH3, N2O amin'ny dingan'ny deposition film, F2/Kr/Ne, Kr/Ne amin'ny dingan'ny photolithography.

Avy amin'ireo lafiny etsy ambony ireo, azontsika takarina fa maro amin'ireo entona semiconductor no manimba ny vatan'olombelona. Indrindra indrindra, ny sasany amin'ireo entona, toy ny SiH4, dia mirehitra ho azy. Raha mbola mitete izy ireo dia hihetsika mafy amin'ny oksizenina eny amin'ny rivotra ary hanomboka hirehitra; ary ny AsH3 dia tena misy poizina. Ny fivoahana kely dia mety hiteraka fahavoazana ho an'ny ain'ny olona, ​​noho izany dia avo dia avo ny fepetra takiana amin'ny fiarovana ny famolavolana rafitra fanaraha-maso ho an'ny fampiasana entona manokana.

Ireo semiconducteur dia mitaky entona madio avo lenta mba hanana "degre telo"

Fahadiovan'ny entona

Ny votoatin'ny loto ao amin'ny atmosfera dia matetika aseho amin'ny isan-jaton'ny fahadiovan'ny entona, toy ny 99.9999%. Amin'ny ankapobeny, ny fepetra takiana amin'ny fahadiovana ho an'ny entona elektronika manokana dia mahatratra 5N-6N, ary aseho ihany koa amin'ny tahan'ny volume amin'ny votoatin'ny loto ao amin'ny atmosfera ppm (ampahany isaky ny tapitrisa), ppb (ampahany isaky ny lavitrisa), ary ppt (ampahany isaky ny arivo tapitrisa). Ny sehatry ny semiconductor elektronika dia manana ny fepetra takiana ambony indrindra amin'ny fahadiovana sy ny fahamarinan'ny kalitaon'ny entona manokana, ary ny fahadiovan'ny entona elektronika manokana dia amin'ny ankapobeny mihoatra ny 6N.

Fahamainana

Ny habetsaky ny rano kely ao anaty entona, na ny hamandoana, dia mazàna aseho amin'ny teboka ando, toy ny teboka ando amin'ny atmosfera -70℃.

Fahadiovana

Ny isan'ny poti-javatra mandoto ao anaty entona, poti-javatra manana haben'ny poti-javatra µm, dia aseho amin'ny isan'ny poti-javatra/M3. Ho an'ny rivotra voatsindry, dia mazàna aseho amin'ny mg/m3 amin'ny poti-javatra mivaingana tsy azo ihodivirana, izay ahitana ny votoatin'ny menaka.