Mitazona ambaratonga avo lenta amin'ny firoboroboana ny indostrian'ny semiconductor sy ny indostrian'ny takelaka eto amin'ny firenentsika. Ny azota trifluoride, izay entona elektronika manokana tena ilaina sy be mpampiasa indrindra amin'ny famokarana sy fanodinana takelaka sy semiconductor, dia manana tsena midadasika.
Ireo entona elektronika manokana misy fluorine ampiasaina matetika dia ahitanaheksafluorida solifara (SF6), tungstène hexafluoride (WF6),karbônina tetrafluorida (CF4), trifluoromethane (CHF3), azota trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ary octafluoropropane (C3F8). Ny azota trifluoride (NF3) dia ampiasaina indrindra ho loharanon-fluorine ho an'ny laser simika angovo avo lenta misy entona hidrôzenina fluoride-fluoride. Ny ampahany mahomby (eo amin'ny 25%) amin'ny angovon'ny fihetsiketsehana eo anelanelan'ny H2-O2 sy F2 dia azo avoaka amin'ny alàlan'ny taratra laser, ka ny laser HF-OF no laser mampanantena indrindra amin'ireo laser simika.
Gazy fandokoana plasma tena tsara ny azota trifluoride ao amin'ny indostrian'ny microelectronics. Ho an'ny fandokoana silikônina sy silikônina nitrida, ny azota trifluoride dia manana tahan'ny fandokoana sy fifantenana ambony kokoa noho ny karbônina tetrafluoride sy ny fifangaroan'ny karbônina tetrafluoride sy oksizenina, ary tsy misy loto amin'ny ety ambonin'ny tany. Indrindra amin'ny fandokoana fitaovana circuit integrated latsaky ny 1.5um ny hateviny, ny azota trifluoride dia manana tahan'ny fandokoana sy fifantenana tena tsara, tsy mamela poti-javatra eo amin'ny ety ambonin'ny zavatra voasokitra, ary koa akora fanadiovana tena tsara. Miaraka amin'ny fivoaran'ny nanoteknolojia sy ny fivoarana lehibe amin'ny indostrian'ny elektronika, dia hitombo isan'andro ny fangatahana azy.
Amin'ny maha-karazana entona manokana misy fluorine azy, ny azota trifluoride (NF3) no vokatra entona manokana elektronika lehibe indrindra eny an-tsena. Tsy mihetsika ara-simika izy amin'ny mari-pana ao an-trano, mavitrika kokoa noho ny oksizenina, marin-toerana kokoa noho ny fluorine, ary mora karakaraina amin'ny mari-pana avo.
Ny azota trifluoride dia ampiasaina indrindra ho toy ny entona fandokoana plasma sy ho toy ny mpanadio efitrano fihetsiketsehana, mety amin'ny sehatry ny famokarana toy ny puce semiconductor, fampisehoana takelaka fisaka, fibre optika, sela photovoltaic, sns.
Raha ampitahaina amin'ny entona elektronika misy fluorine hafa, ny azota trifluoride dia manana tombony amin'ny fihetsika haingana sy fahombiazana avo lenta, indrindra amin'ny fanesorana ireo fitaovana misy silikônina toy ny silikônina nitrida, manana tahan'ny fanesorana sy fifantenana avo lenta izy io, tsy mamela sisa tavela eo amin'ny velaran'ny zavatra voasokitra, ary koa mpanadio tena tsara, ary tsy mandoto ny velarany ary afaka mamaly ny filàn'ny fizotran'ny fanodinana.
Fotoana fandefasana: 26 Desambra 2024
