Ny indostrian'ny semiconductor sy ny indostrian'ny tontonana eto amin'ny firenentsika dia mitazona ny firoboroboana avo lenta. Nitrogen trifluoride, toy ny entona elektronika manokana tena ilaina sy lehibe indrindra amin'ny famokarana sy fanodinana ny tontonana sy ny semiconductor, dia manana tsena malalaka.
Fampiasa matetika fluorine-misy entona elektronika manokana ahitanasolifara hexafluoride (SF6), tungstène hexafluoride (WF6),karbônina tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ary octafluoropropane (C3F8). Nitrogen trifluoride (NF3) no tena ampiasaina ho toy ny fluorine loharano ho an'ny hydrogène fluoride-fluoride entona avo-angovo simika lasers. Ny ampahany mahomby (eo amin'ny 25%) amin'ny angovo fanehoan-kevitra eo amin'ny H2-O2 sy F2 dia azo avoaka amin'ny taratra laser, noho izany ny laser HF-OF no laser mampanantena indrindra amin'ny laser simika.
Nitrogen trifluoride dia entona etching plasma tsara indrindra amin'ny indostrian'ny microelectronics. Ho an'ny etching silisiôma sy silisiôma nitride, ny nitrogen trifluoride dia manana tahan'ny etching sy fifantenana ambony kokoa noho ny tetrafluoride karbônina ary fifangaroan'ny tetrafluoride karbônina sy oksizenina, ary tsy misy loto eny ambonin'ny tany. Indrindra fa amin'ny etching ny Integrated fitaovana amin'ny hatevin'ny latsaky ny 1.5um, azota trifluoride manana tena tsara etching tahan'ny sy ny selectivity, tsy mamela ny sisa tavela eo amin'ny ambonin'ny zavatra voasokitra, ary koa tena tsara fanadiovana. Miaraka amin'ny fivoaran'ny nanotechnology sy ny fivoarana lehibe amin'ny indostrian'ny elektronika dia hitombo isan'andro ny fitakiana azy.
Amin'ny maha karazana entona manokana misy fluorine, trifluoride nitrogen (NF3) no vokatra entona manokana elektronika lehibe indrindra eny an-tsena. Izy io dia simika inert amin'ny mari-pana amin'ny efitrano, mavitrika kokoa noho ny oksizenina, miorina kokoa noho ny fluorine, ary mora entina amin'ny hafanana ambony.
Nitrogen trifluoride no tena ampiasaina ho ranon-dra etching entona sy ny fanehoan-kevitra efi-trano fanadiovana mpandraharaha, mety ho an'ny famokarana saha toy ny semiconductor chips, fisaka tontonana fampisehoana, Optical fibre, photovoltaic sela, sns.
Raha ampitahaina amin'ny entona elektronika misy fluorine hafa, ny trifluoride azota dia manana tombony amin'ny fanehoan-kevitra haingana sy ny fahombiazany avo lenta, indrindra amin'ny fametahana ny fitaovana misy silisiôma toy ny silisiôma nitride, dia manana taham-pahavitrihana avo lenta sy fifantenana izy io, tsy mamela ny sisa tavela amin'ny etched zavatra, ary koa ny fanadiovana tena tsara, ary ny tsy fandotoana ny zavatra ilaina.
Fotoana fandefasana: Dec-26-2024
