Ny entona elektronika manokana misy fluorine mahazatra dia misysolifara hexafluoride (SF6), tungstène hexafluoride (WF6),karbônina tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ary octafluoropropane (C3F8).
Miaraka amin'ny fivoaran'ny nanotechnology sy ny fivoarana lehibe amin'ny indostrian'ny elektronika dia hitombo isan'andro ny fitakiana azy. Nitrogen trifluoride, toy ny entona elektronika manokana tena ilaina sy lehibe indrindra ampiasaina amin'ny famokarana sy ny fanodinana ny tontonana sy ny semiconductor, dia manana tsena malalaka.
Amin'ny maha-karazana entona manokana misy fluorine,nitrogen trifluoride (NF3)no vokatra entona elektrônika manokana manana fahafaha-tsena lehibe indrindra. Izy io dia simika inert amin'ny mari-pana amin'ny efitrano, mavitrika kokoa noho ny oksizenina amin'ny hafanana ambony, miorina kokoa noho ny fluorine, ary mora karakaraina. Nitrogen trifluoride no tena ampiasaina ho toy ny ranon-dra etching entona sy ny fanehoan-kevitra efitra fanadiovana mpiasa, ary mety ho an'ny orinasa mpamokatra entana semiconductor chips, fisaka tontonana fampisehoana, Optical fibre, photovoltaic sela, sns.
Raha oharina amin'ny entona elektronika misy fluorine hafa,trifluoride azotamanana ny tombony amin'ny fanehoan-kevitra haingana sy ny fahombiazana ambony. Indrindra fa amin'ny etching ny silisiôma-misy akora toy ny silisiôma nitride, dia manana avo etching tahan'ny sy ny selectivity, tsy mamela ny sisa tavela eo ambonin'ny zavatra voasokitra. Izy io koa dia mpanadio tena tsara ary tsy misy loto eny ambonin'ny tany, izay mahafeno ny filan'ny fizotran'ny fanodinana.
Fotoana fandefasana: Sep-14-2024
