Tungstène hexafluoride (WF6) dia napetraka eo amin'ny tampon'ny wafer amin'ny alàlan'ny dingana CVD, mameno ny hady fifandraisana metaly, ary mamorona fifandraisana metaly eo anelanelan'ny sosona.
Miresaka momba ny plasma aloha isika. Plasma dia endriky ny zavatra ahitana indrindra indrindra ny elektrôna maimaim-poana sy ny ions voampanga. Miely patrana eo amin'izao rehetra izao izy io ary matetika no heverina ho ny toetry ny zavatra fahefatra. Antsoina hoe fanjakana plasma izy io, antsoina koa hoe "Plasma". Ny plasma dia manana conductivity elektrika avo ary misy fiantraikany mahery vaika amin'ny saha elektromagnetika. Izy io dia entona misy ionized ampahany, misy elektrôna, ion, radika maimaim-poana, singa tsy miandany, ary foton. Ny plasma mihitsy dia fangaro tsy miandany amin'ny elektrika misy singa mavitrika ara-batana sy simika.
Ny fanazavana tsotra dia ny hoe eo ambanin'ny hetsiky ny angovo avo, ny molekiola dia handresy ny hery van der Waals, hery fatorana simika ary hery Coulomb, ary haneho endrika herinaratra tsy miandany amin'ny ankapobeny. Mandritra izany fotoana izany, ny angovo avo omen'ny ivelany dia mandresy ireo hery telo etsy ambony. Ny fiasa, ny elektrôna ary ny ion dia manolotra fanjakana maimaim-poana, izay azo ampiasaina amin'ny artifisialy eo ambanin'ny modulation ny sahan'andriamby, toy ny dingana etching semiconductor, dingana CVD, PVD ary dingana IMP.
Inona no atao hoe angovo avo? Amin'ny teoria dia azo ampiasaina ny mari-pana ambony sy ny RF matetika. Amin'ny ankapobeny, ny mari-pana ambony dia saika tsy azo tratrarina. Avo loatra io fepetra takian'ny maripana io ary mety manakaiky ny hafanan'ny masoandro. Amin'ny ankapobeny dia tsy azo atao izany amin'ny dingana. Noho izany, matetika ny indostria dia mampiasa RF avo lenta mba hahatratrarana izany. Ny Plasma RF dia mety hahatratra hatramin'ny 13MHz +.
Tungstène hexafluoride dia plasmaized eo ambanin'ny asan'ny saha elektrika, ary avy eo ny etona-napetraky ny sahan'andriamby. Ny ataoma W dia mitovy amin'ny volon'ny gisa ririnina ary mianjera amin'ny tany noho ny herin'ny sinton'ny tany. Tsikelikely, ny ataoma W dia napetraka ao amin'ny alalan'ny lavaka, ary farany feno feno amin'ny alalan'ny lavaka mba hamorona fifandraisana vy. Ho fanampin'ny fametrahana atôma W ao anaty lavaka, hapetraka eo amin'ny tampon'ny Wafer ve izy ireo? Eny, azo antoka. Amin'ny ankapobeny, azonao atao ny mampiasa ny dingana W-CMP, izay antsointsika hoe ny fikosoham-bary mekanika hanesorana. Mitovy amin’ny fampiasana kifafa ny gorodona aorian’ny oram-panala be. Ny lanezy amin'ny tany dia voafafa, fa ny lanezy ao amin'ny lavaka amin'ny tany dia hijanona. Midina, mitovy ihany.
Fotoana fandefasana: Dec-24-2021
