Apetraka eo amin'ny velaran'ny wafer amin'ny alalan'ny dingana CVD ny hexafluoride tungstène (WF6), mameno ny hady fifandraisana metaly, ary mamorona ny fifandraisan'ny metaly eo amin'ireo sosona.
Andeha hiresaka momba ny plasma aloha isika. Ny plasma dia endriky ny zavatra iray izay ahitana elektrôna afaka sy iôna misy fiampangana. Misy betsaka eto amin'izao rehetra izao izy io ary matetika heverina ho ny toetry ny zavatra fahefatra. Antsoina hoe toetry ny plasma izy io, antsoina koa hoe "Plasma". Ny plasma dia manana conductivity elektrika avo lenta ary manana fiantraikany matanjaka amin'ny fifandraisana amin'ny saha elektromagnetika. Gazy misy iôna ampahany izy io, izay ahitana elektrôna, iôna, radika afaka, poti-javatra tsy miandany, ary fotona. Ny plasma mihitsy dia fangaro tsy miandany amin'ny herinaratra misy poti-javatra mavitrika ara-batana sy simika.
Ny fanazavana tsotra dia hoe eo ambany fiantraikan'ny angovo avo dia avo, ny molekiola dia handresy ny herin'i van der Waals, ny herin'ny fifamatorana simika ary ny herin'i Coulomb, ary haneho endrika herinaratra tsy miandany amin'ny ankapobeny. Mandritra izany fotoana izany, ny angovo avo omen'ny ivelany dia mandresy ireo hery telo etsy ambony. Ny fiasa, ny elektrôna ary ny iôna dia maneho toetra afaka, izay azo ampiasaina amin'ny fomba artifisialy eo ambanin'ny fanovana ny saha magnetika, toy ny dingana fanesorana semiconductor, ny dingana CVD, ny dingana PVD ary ny dingana IMP.
Inona no atao hoe angovo avo lenta? Amin'ny teoria, dia azo ampiasaina na ny RF amin'ny mari-pana avo lenta na ny RF amin'ny matetika avo lenta. Amin'ny ankapobeny, saika tsy azo tanterahina ny mari-pana avo lenta. Avo loatra io fepetra takiana amin'ny mari-pana io ary mety ho akaiky ny mari-pana amin'ny masoandro. Tsy azo tanterahina mihitsy izany amin'ny ankapobeny. Noho izany, ny indostria dia mazàna mampiasa RF amin'ny matetika avo lenta mba hahatratrarana izany. Ny RF amin'ny plasma dia mety hahatratra hatramin'ny 13MHz+.
Afangaro amin'ny plasma ny heksafluoride tungstène eo ambanin'ny herin'ny herinaratra, ary avy eo dia apetraky ny saha magnetika amin'ny etona. Mitovy amin'ny volon'ny gisa ririnina ny atôma W ary milatsaka amin'ny tany eo ambanin'ny herin'ny hery misintona. Miadana ny atôma W dia apetraka ao anaty lavaka miditra, ary amin'ny farany dia fenoina lavaka miditra mba hamorona fifandraisana metaly. Ankoatra ny fametrahana atôma W ao anaty lavaka miditra, moa ve izy ireo hapetraka eo amin'ny velaran'ny Wafer koa? Eny, azo antoka. Amin'ny ankapobeny, azonao ampiasaina ny dingana W-CMP, izay antsointsika hoe dingana fikosoham-bary mekanika mba hanesorana azy. Mitovy amin'ny fampiasana kifafa hamafa ny gorodona aorian'ny lanezy matevina izany. Voafafa ny lanezy amin'ny tany, fa ny lanezy ao amin'ny lavaka amin'ny tany kosa dia hijanona. Midina, mitovy amin'izany ihany.
Fotoana fandefasana: 24 Desambra 2021
