Ny teknolojia fandokoana maina dia iray amin'ireo dingana fototra. Ny entona fandokoana maina dia akora fototra amin'ny fanamboarana semiconductor ary loharanon-drivotra manan-danja amin'ny fandokoana plasma. Ny fahombiazany dia misy fiantraikany mivantana amin'ny kalitao sy ny fahombiazan'ny vokatra farany. Ity lahatsoratra ity dia mizara indrindra ireo entona fandokoana ampiasaina matetika amin'ny dingana fandokoana maina.
Gazy misy fluorine: toy nykarbônina tetrafluorida (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) ary perfluoropropane (C3F8). Ireo entona ireo dia afaka mamokatra fluorides mora miempo rehefa manodina silisiôma sy ireo akora silisiôma, ka mahatratra ny fanesorana ireo akora ireo.
Gazy misy klôro: toy ny klôro (Cl2),boron triklorida (BCl3)ary silikônina tetraklôrida (SiCl4). Ny entona miorina amin'ny klôro dia afaka manome iôna klôro mandritra ny dingan'ny fanesorana, izay manampy amin'ny fanatsarana ny tahan'ny fanesorana sy ny fifantenana.
Gazy misy brome: toy ny brome (Br2) sy ny brome iodide (IBr). Ny gazy misy brome dia afaka manome fahombiazana tsara kokoa amin'ny fandokoana amin'ny dingana fandokoana sasany, indrindra rehefa mandoko fitaovana mafy toy ny silicon carbide.
Gazy mifototra amin'ny azota sy oksizenina: toy ny azota trifluoride (NF3) sy oksizenina (O2). Ireo gazy ireo dia matetika ampiasaina hanitsiana ny toe-javatra misy ny fihetsehana mandritra ny dingan'ny fanesorana mba hanatsarana ny fifantenana sy ny fitarihana ny fanesorana.
Ireo entona ireo dia mahatratra ny fandokoana mazava tsara ny velaran'ny fitaovana amin'ny alàlan'ny fitambaran'ny fiparitahana ara-batana sy ny fihetsika simika mandritra ny fandokoana amin'ny plasma. Ny fisafidianana entona fandokoana dia miankina amin'ny karazana fitaovana hosokirina, ny fepetra takiana amin'ny fandokoana, ary ny tahan'ny fandokoana irina.
Fotoana fandefasana: 08 Febroary 2025
