Ny entona laser dia ampiasaina indrindra amin'ny fanafanana laser sy ny entona lithography amin'ny indostrian'ny elektronika. Noho ny fanavaozana ny efijerin'ny finday sy ny fanitarana ny sehatra fampiharana, dia hivelatra bebe kokoa ny tsenan'ny polysilicon amin'ny mari-pana ambany, ary ny fizotran'ny fanafanana laser dia nanatsara be ny fahombiazan'ny TFT. Amin'ireo entona neon, fluorine, ary argon ampiasaina amin'ny laser excimer ArF ho an'ny famokarana semiconductors, ny neon dia mitentina mihoatra ny 96% amin'ny fangaroan'ny entona laser. Noho ny fanatsarana ny teknolojia semiconductor, dia nitombo ny fampiasana laser excimer, ary ny fampidirana ny teknolojia double exposure dia nitarika fitomboana be teo amin'ny fangatahana entona neon lanin'ny laser excimer ArF. Noho ny fampiroboroboana ny toerana misy ny entona elektronika manokana, dia hanana toerana fitomboana tsara kokoa amin'ny tsena amin'ny ho avy ireo mpanamboatra ao an-toerana.
Ny milina litografia no fitaovana fototra amin'ny fanamboarana semiconductor. Ny litografia no mamaritra ny haben'ny transistors. Ny fampandrosoana mirindra ny rojo indostrian'ny litografia no fanalahidin'ny fandrosoana amin'ny milina litografia. Ny fitaovana semiconductor mifanaraka toy ny photoresist, ny entona photolithography, ny photomask, ary ny fitaovana fanamboarana sy famolavolana dia manana votoaty ara-teknolojia avo lenta. Ny entona litografia no entona vokarin'ny milina litografia amin'ny laser ultraviolet lalina. Ny entona litografia samihafa dia afaka mamokatra loharanon-jiro amin'ny halavan'ny onjam-peo samihafa, ary ny halavan'ny onjam-peo dia misy fiantraikany mivantana amin'ny famaha ny milina litografia, izay iray amin'ireo fototry ny milina litografia. Amin'ny taona 2020, ny totalin'ny varotra milina litografia manerantany dia ho 413 units, izay ny varotra ASML 258 units dia 62%, ny varotra Canon 122 units dia 30%, ary ny varotra Nikon 33 units dia 8%.
Fotoana fandefasana: 15 Oktobra 2021
