Laser entona no tena ampiasaina amin'ny laser annealing sy lithography entona ao amin'ny orinasa elektronika.Mahazo tombony amin'ny fanavaozana ny efijery finday sy ny fanitarana ny faritra fampiharana, ny haavon'ny tsena polysilicon ambany hafanana dia hiitatra bebe kokoa, ary ny fizotran'ny laser annealing dia nanatsara ny fahombiazan'ny TFT.Anisan'ireo entona neon, fluorine ary argon ampiasaina amin'ny laser excimer ArF ho an'ny famokarana semiconductor, ny neon dia mihoatra ny 96% amin'ny fangaro entona laser.Miaraka amin'ny fanatsarana ny teknolojia semiconductor, nitombo ny fampiasana laser excimer, ary ny fampidirana ny teknolojia avo roa heny dia nitarika fitomboan'ny fangatahana entona neon lanin'ny laser excimer ArF.Mahazo tombony amin'ny fampiroboroboana ny fametrahana gazy elektronika manokana, ny mpanamboatra an-trano dia hanana sehatra fitomboana tsara kokoa amin'ny ho avy.
Ny milina lithography dia fitaovana fototra amin'ny famokarana semiconductor.Ny lithography dia mamaritra ny haben'ny transistor.Ny fampandrosoana mirindra ny rojo indostrian'ny lithography no fanalahidin'ny fivoaran'ny milina lithography.Ny fitaovana semiconductor mifanandrify toy ny photoresist, entona photolithography, photomask, ary ny coating sy ny fampivelarana fitaovana dia manana votoaty teknolojia avo lenta.Ny entona lithography dia ny entona avoakan'ny milina lithography tamin'ny laser ultraviolet lalina.Ny gazy lithography samihafa dia afaka mamokatra loharano maivana amin'ny halavan'ny onjam-peo samihafa, ary misy fiantraikany mivantana amin'ny famahana ny milina lithography ny halavany, izay iray amin'ireo fototry ny milina lithography.Amin'ny taona 2020, ny totalin'ny varotra eran-tany amin'ny milina lithography dia 413, izay ny varotra ASML 258 dia nitentina 62%, ny varotra Canon 122 dia nitentina 30%, ary ny varotra Nikon 33 dia nitentina 8%.
Fotoana fandefasana: Oct-15-2021
